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敞开式直线光栅尺
敞开式直线光栅尺

敞开式直线光栅尺设计用于需要高精度测量的机床和系统

  • 产品详细

    半导体工业的测量和生产设备

    PCB电路板组装机

    超精密机床

    高精度机床

    测量机和比较仪,测量显微镜和其它精密测量设备

    直接驱动

    主要型号有:

    LIC系列 :LIC敞开式直线光栅尺用于测量高速运动的行程达27 m内的绝对位置。其尺寸和安装方式与LIDA 400相同

    LIP系列:LIP敞开式直线光栅尺的测量步距非常小、精度和重复精度非常高。扫描方式为干涉扫描,测量基准为DIADUR相位光栅

    LIF系列:LIF敞开式直线光栅尺的测量基准是SUPRADUR玻璃基体光栅,扫描方式为干涉扫描。特点是精度和重复精度高,安装简单,有限位开关和回零轨。特殊型号的LIF 481 V可用于10–7 bar的真空环境中

    LIDA系列:LIDA敞开式直线光栅尺特别适用于运动速度达10 m/s的高速运动应用,支持多种安装方式,安装简单。根据相应应用要求,METALLUR光栅的基体可为钢带,玻璃或玻璃陶瓷。也可有限位开关

    PP系列:PP双坐标编码器的测量基准是一个平面DIADUR相位光栅,扫描方式为干涉扫面。用于测量平面中位置。